产品详情
利用优异保温效果的坩埚实现有机物材料的稳定蒸发，同时借助超高精度的石英晶振达到蒸发速率的确控制，矽碁科技可提供性能稳定的有机物蒸发镀膜机，主要用于有机物材料验证，OELD器件镀膜机，OPV器件镀膜机，有机CMOS镀膜机等。
技术参数：
1 本底真空10-7 Torr；
2 电极蒸发束源炉，金属坩埚，金属电极式蒸发舟等；
3 IC6-光学镀膜等级石英晶振测量膜厚；
4 与手套箱连接
5 Mask对准功能，机械对准或者CCD对准
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